四级罗茨式干泵,适用于频频抽大气的使用 专为大尺寸进/出口室(L/L)规划 N2吹扫(选配) 加快形式 : 30% 抽速
整合旁通阀的小的排气级: 低功 耗,高的排气速度 电机的转子处于真空 状况: 高效低功耗
因为将排气口压力从1200mbar下降到50mbar,D1选项大幅度的下降了 ACP400干泵的能耗(降到1/3) ,而且提高了极限线个数量级)
前级泵和罗茨泵分别安装在独立的机架上* 保护保养简洁 50Hz 和 60Hz 下功能完全相同 十分简单整合在不同的设备厂商机型中 特别节能形式 : D1 选项 十分节能,且可获得更佳的极限真空 整个机柜内部可抽风 下降噪音并削减热量的发出 即插即用体系 (监控体系, 排气消音器, 排气口止回阀, 快速接头, …) 削减安装时间