旋片式真空泵泵内偏心设备的转子与定子固定面相切，两个（或以上）旋片在转子槽内滑动（一般为径向）并与定子内壁相触摸，将泵腔分为几个可变容积的一种旋改变容积真空泵。一般，旋片与泵腔之间的空隙用油来作为密封，所以
旋片式真空泵能够抽除密封容器中的枯燥气体，若附有气镇设备，还能够抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含
取得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构大将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以取得较高的
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、绷簧等组成。在旋片泵的腔内偏心肠设备一个转子，转子外圆与泵腔内外表相切（二者有很小的空隙），转子槽内装有带绷簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和绷簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁坚持触摸，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐步增大的，正处于吸气进程。而与排气口相通的空间C的容积是逐步缩小的，正处于排气进程。居中的空间B的容积也是逐步减小的，正处于紧缩进程。因为空间A的容积是逐步增大（即胀大），气体压强下降，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口阻隔时，即转至空间B的方位，气体开端被紧缩，容积逐步缩小，最终与排气口相通。当被紧缩气体超越排气压强时，排气阀被紧缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的接连工作，到达接连抽气的意图。假如排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级紧缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的紧缩比由两级来担负，因此提高了极限真空度。
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