安装在泵体中的偏疼转子）有三块叶片，它们把泵分红三个隔室，每个隔室的容积随转子的旋转周期性的改变。
当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩展，将气体从进气口吸入，气体通过空气滤芯，翻开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转，叶片从吸进口将泵腔部分分隔。这部分泵腔容积削减，气体被紧缩。气体在略高于大气压时通过排气阀从泵腔排出。
安装在泵体中的偏疼转子）有三块叶片，它们把泵分红三个隔室，每个隔室的容积随转子的旋转周期性的改变。
当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩展，将气体从进气口吸入，气体通过空气滤芯，翻开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转，叶片从吸进口将泵腔部分分隔。这部分泵腔容积削减，气体被紧缩。气体在略高于大气压时通过排气阀从泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、光滑和泵冷却的效果。紧缩气体夹藏的油在油箱内因为折转而被开始捕集。然后在出口油雾分离器中被过滤。所以，排气中油含量下降至低于可见程度。
德国莱宝真空泵研讨与开展范畴修改 一切工业品的出产与技术成果都必须阅历广泛、高投入的研讨与开展阶段。只要通过细心研讨、测验和开发进程的新产品才干投入到出产或大规模使用中。
使用于各研制范畴的真空设备、设备及零备件，其尺度和才能都是不同的。咱们为满意这些研制用处而专门开发和出产特别的产品。因而，咱们能由始至终参加到客户的整个出产工艺进程中，并取得名贵的经历以使本职业的合作伙伴也能底子获益。
莱宝真空泵半导体技术范畴修改 半导体职业正继续敏捷的开展着，为能完成用户对产品和工艺快速一直在改变的需求，咱们与客户之间的交流从未象这样如此重要。
真空设备在一切半导体出产的悉数进程中发挥着很重要的效果，针对特别的出产标准要求一定要挑选合适的真空设备。
