爱德华iXH4545H真空泵

  Edwards 半导体真空泵已经过现场运用证明、可根据高作业规范运转。经过延伸惯例运用的寿数、进步运转时刻并进步生产率，一起大程度地减小占地面积、下降运转本钱，完成了高的性和功能。

  iH 系列为难以履行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPOVD 制程)供给了高功能。

  Edwards 半导体真空泵已经过现场运用证明、可根据高作业规范运转。经过延伸惯例运用的寿数、进步运转时刻并进步生产率，一起大程度地减小占地面积、下降运转本钱，完成了高的性和功能。

  iH 系列为难以履行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPOVD 制程)供给了高功能。