简介 干泵的工作原理 ADP/ADS 系列 2 干泵的范围 M4 监控系统 可选配置 技术参数 附件 CE 认证
开机 安全指导 开箱/储藏 真空泵的安装定位 真空泵的加油 冷却水路的连接 不活泼气体吹扫的连接（N2 接口） 电气连接 确认真空泵的转向 线 远程控制接口的连接 紧停接口的连接 RS232 或 RS485 接口的连接 排气口加热带（附件）的安装
ADP/ADS 系列 2 仅在带以下配置时符合 SEMI S2 93： - 主电源电线直接连接到电器箱（硬线连接）， - 排气口围栏
ADP 122 P: 和外部的密闭机架一体化，包含：泵，监控系统，手动遥控器，水电气设施接 口，流量计面板，OEM 接口和串口连接等。
高压端的密封性 高压端轴承是用油润滑的。整个齿轮箱和高压级 5 之间是通过捕集阱和挡板共同密封的。
电机端的密封性（轴遂） 电机端的密封是通过电机设计的内置护套（完全密封）完成的。 该系统能确保泵关于泄漏的安全性，并且不需要任何维护保养。
低压端的密封性 真空泵低压端安装了用氟化脂润滑的球轴承。而在轴承的周围通过用中性气体的吹扫从而形 成一个正压区。高压区和密封共同防止真空泵所抽气体向轴承端移动。 对于带腐蚀性的工艺，轴承端的中性气体吹扫是必须的！
停机时的密封性 真空泵在排气管内配置了止回阀，可以有效的预防排气口外的气体向泵内的返流。
主要功能 z 电机保护 z N2 吹扫监控 z 真空泵温度的监控 z 真空泵的温度控制（温度和冷却水流量）（P 和 H 型） z 排气压力的监控 z 保养时间的监控
为了使真空泵可以适合安装时的一些特殊条件，阿尔卡特提供了一系列可选配置，这些配置 在真空泵的订购时由工厂设定。
重要注释：根据不同的国家，某些可选配置可能会标准化。相关信息请咨询阿尔卡特高真空 技术（上海）有限公司。
- ADS 602 H, ADS 602 P, ADS 1202 H 和 ADS 1202 P，用于半导体的工艺。H 型特别 用于非常苛刻的工艺（防腐蚀的材料，可增大的气体吹扫流量）。除此以外，该型号还 配置了排气口的加热带，可减少易冷凝气体的凝结。
预示有潜在的危险，如果不避免的话，可能会造成轻度或中等的伤害。该标志也用来警告不 安全的状况。
运行 运行模式 进气口截止阀（附件）的使用 M4 监控系统的启动 线 监控系统的使用 可选配置“断电保护”的使用 M4 监控系统的参数 M4 监控系统的功能表 ADS 602 P 和 H 型的水流量 储存和读取线 监控系统） 运输的 M4 监控系统设置 串口连接的使用（M4 监控系统）
真空泵的内部设备 阿尔卡特干泵包含内部冷却水路和气体吹扫管路（P 和 H 型号）。
原理 每一台系列 2 干泵都包含一个智能的监控系统。 描述 电器箱 安装在真空泵的尾部。该电器箱连接主电源，ADP/罗茨泵的电机和电控柜。 手动遥控器 该遥控器确保了人-机界面。该遥控器既可以连接到泵的前端，也可以连接到尾部，并且包 含所有的运行参数。
阿尔卡特干泵的设计可将潜在沉积物最小化： z 通过减小气体经过的中间腔的容积 z 通过在泵的每一级进行 N2 吹扫从而稀释工艺气体（P 和 H 型） z 通过调节真空泵的温度使其符合各个工艺，从而限制气体在泵内的冷凝（P 和 H 型）
优点： z 体积小，占地面积小 z 使用成本低 z 非常高的性能（抽速以及极限压力） z 在苛刻环境下出色的运行效果 z 易于一体化 z 先进的监控功能 （待机状态可减少 N2 的消耗量，断电保护） z SEMI S2-93 标准的兼容性（可选）
特性： z 多级罗茨技术 z 水冷电机（高压/低压） z 排气口以及与各种接口位置可选在泵的上方或泵的背部
水电气连接（P 和 LM 型，不包括 ADS 1202P） 各种设施连接（水，N2，主电源）和排气口连接能够准确的通过需要设置在泵的上方或尾部。
主电源的连接可以通过： - 直接将线连接到电器箱的终端（SEMI S2 93 兼容）， - 用一个插头
该可选配置可以在断电时延时 1 秒或 1 秒不到，从而保护 M4 监控系统。
电控箱确保了真空泵的自动运行，并控制所有的传感器和阀门。 电控箱连接显示面板和紧停按钮。它能够实现和手动遥控器之间的数据交换并确保通过接口 受网络监控。M4 监控系统能和主生产设备通过接口连接。
M4 监控系统的特性 z 微处理器控制 z 手动遥控器上有参数和信息显示 z 记忆最近 10 次警报和停机的信息 z RS232 – RS485 – 网络连接
非常感谢您购买了阿尔卡特的干泵，我们很荣幸您可成为我们众多客户中的一员。
为了能保证您使用的干泵拥有最优的性能并使您满意，我们提议您能够在使用该泵之前 详细阅读该使用说明书，尤其是关于安装和开机的章节。
应用： z H 型 ：针对非常苛刻的工艺 z P 型 ：针对中等工艺 z LM 型 ：针对干净的工艺
阿尔卡特高真空技术有限公司作为阿尔卡特集团的一部分，多年来一直为全球客户提供真空 泵，检漏仪，真空计以及微加工系统等。 由于产品非常齐全，阿尔卡特高真空技术有限公司在各个行业都成为了很重要的供应商， 这一些行业包括：仪器仪表，研发，普通工业与半导体等。 阿尔卡特高真空技术使用 Adixen 这个新品牌作为公司形象，在真空行业中占据其国际性重 要地位。我们法国公司分别通过了 ISO 9001 和 ISO 14001 认证，提供专业的服务和支持， 同时 Adixen 产品具备最高的质量并符合环境标准。 阿尔卡特高真空技术有限公司拥有超过 40 年的经验，如今已成为一家全球性公司，在全球 都拥有他的网络，包括在各地都有非常有经验的全职子公司，经销商以及代理等。 阿尔卡特高真空技术有限公司首先是在 30 年前在美国的 Hingham-MA 也建立了阿尔卡特产 品中心，如今已经在美国的 Fremont (CA)和 Tempe (AZ)更增加了 2 个子公司。 在欧洲，阿尔卡特（法国）总部以及 3 个子公司，阿尔卡特（德国），阿尔卡特技术（英国） （位于苏格兰）再加上阿尔卡特系统（意大利）共同构成了整个欧洲网络。 在亚洲，我们在 1993 年成立了阿尔卡特线 年设立了阿尔卡特真 空技术（韩国）。随后，在 2001 年成立了阿尔卡特真空技术（台湾），阿尔卡特真空技术（新 加坡），并于 2004 年成立了阿尔卡特高真空技术（上海）- 中国公司。 如今，阿尔卡特在全球各个地区共有超过 40 个代表处。 因此，无论发生啥情况，阿尔卡特的用户总是能获得我们的真空技术专家提供的最快捷 的支持！
与 SEMI S2 93 标准兼容。 在这种情况下，主电源电线必须直接连接到电器箱的终端（参阅 B80）。 50mm 排气口连接（可选）。
