深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时供给技术上的支撑及售后服务,针对各个职业工艺端规划供给合适的负压真空体系解决方案,为半导体、平板显现器、LED和太阳能电池制造、工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装职业等供给优化的真空解决方案。
Edwards爱德华真空泵EM、RV、EH、GV系列半导体真空泵油配件介绍
爱德华真空泵配件:密封垫,O型圈,轴承,轴封,轴套,叶片,密封件,垫片,修理包,密封包
半导体工艺真空首要用在蒸腾,溅射,PECVD,真空干法刻蚀, 真空吸附,测验设备,真空打扫等等键合工序,半导体出产制造的完好过程中易发生易燃易爆以及有毒的物质气体,会对出产及人员安全形成要挟,因而,半导体真空泵应用时必需要分外注意安全事项。
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