5.进气口有逆止阀,当泵浦中止时,此逆止阀可阻隔泵浦于体系,防止线.低轰动,不需用根底螺拴固定泵浦.
9.具气体压载阀，可适用于很多蒸气之制程。即在线mbar之间进入泵浦进口之水蒸气,会从泵浦出气口彻底排出,而不会在泵浦内产生凝聚现象.使用场景规模很广，如食品包装、金属工业、石化工业、真空热处理、真空吸著、医药科技、电子科技、半导体工业、真空电镀、航太工业等用处．
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